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  • Quantitative depth profiling of boron and arsenic ultra low energy implants by pulsed rf-GD-ToFMS [2011]

    Categoría:
    Artículos
    Autores:
    Lara Lobo Revilla , Beatriz Fernández García , María Rosario Pereiro García , Nerea Bordel García , Evgeny Demenev , Damiano Giubertoni , Massimo Bersani , Philipp Hoenicke , Burkhard Beckhoff , Alfredo Sanz Medel
    Fecha:
    01 de Enero de 2011
    Es parte de:
    Journal of Analytical Atomic Spectrometry